本文转自《硬质合金》第39卷第4期
《陶瓷学报》第43卷 第四期 龚雨波 赵世鑫等
阅读原文请查阅: [1]涂溶,刘子鸣,徐青芳,章嵩.化学气相沉积生长氧化铪薄膜研究进展[J].现代技术陶瓷,2022,43(03):187-196.DOI:10.16253/j.cnki.37-1226/tq.2022.03.003.